沉积炉控制系统的主要组成有加热炉体、温度测控系统、超/欠温处理、气体流量控制、压力控制、推拉舟控制、高频控制、报警系统、真空系统、气源系统等。沉积炉控制系统含有高精度的温度数据采集处理和过程监控，并具有多种故障报警、报警安全保护、冷端补偿和故障自诊断等功能。本系统主要采用菲尼克斯的PLC ILC 150 ETH,利用其内建的OPC功能和上位机进行通迅，经过实践证明，本系统稳定可靠，操作简便。其主要硬件架构如下：

系统主要架构图